Problématiques Générales :


1 - Énergie

1 - Générateurs d'électricité micro-usinés / Micro-pile à combustible
2 - Piles ou batteries intégrées au microsystème
3 - Convertisseurs d'énergie électrique
4 - Système de gestion de l'énergie
5 - Récupération d'énergie (conversion non-chimique)

1 - Matériaux actifs pour les micro et nano systèmes
2 - Monocouches auto-assemblées (SAM)
3 - Matériaux fonctionnels (hydrophobie, hydrophylie, lubrification)
4 - Matériaux nanostructurés

1 - Dépôts
2 - Gravure (sèche, humide)
3 - Lithographie (optique, électronique,…)
4 - Interface laboratoires - fonderies industrielles
5 - Nouvelles technologies de fabrication
6 - Planarisation (CMP, ECMP, etch-back,…)
7 - Procédés réalisables dans les front-end de micro-électronique
8 - Above-IC

1 - Modélisation (électrique, électromagnétique, mécanique, thermique)
2 - Phénomènes couplés (électrostatique, électrothermique,…)
3 - Outils numériques d'aide à la conception des microsystèmes (MEF, MDF,…)
4 - Modélisation de l'environnement (forces de surface, interaction fluide – structure)
5 - Écoulement à bas Reynolds
6 - Simulation conjointe : modélisation comportementale et langages de descriptions de dispositifs multi-physiques (e.g. VHDL-AMS)
7 - Conception pour la fabrication (Design for Manufacturing, DfM), robustesse aux dispersions technologiques
8 - Électronique de conditionnement et de traitement du signal

1 - Nouvelles techniques de caractérisation de nanostructures
2 - Méthodes de caractérisation des propriétés électroniques
3 - Méthodes de caractérisation mécanique des films minces et des microstructures
4 - Études cycliques (étude des mécanismes d'endommagement, fatigue, charge / décharge des diélectriques,…) en vue de la prédiction de la durée de vie
5 - Plasticité – Fluage
6 - Véhicules de test pour l'extraction de paramètres technologiques et/ou fonctionnels
7 - Test industriel : stimuli électriques, modélisation de fautes, test structurel et test fonctionnel
8 - Connaissance des modes de défaillances et prédiction de la durée de vie
9 - Tolerance aux pannes, redondances matérielles, auto-calibration et auto-réparation

1 - Techniques d'assemblage et de collage (anodique, eutectique,…)
2 - Étanchéité et herméticité (évaluation de…)
3 - Influence du packaging sur l'élément sensible (contraintes mécaniques, perturbations électromagnétiques,…)
4 - Atmosphère contrôlée
5 - Connectique
6 - Modélisation de l'impact du packaging sur le système
7 - Contrôle de qualité des paramètres environnementaux de cavités (pression, humidité,...) : véhicules de test, application au test et à la calibration

1 - Micropréhenseurs (magnétique, optique, mécanique,…)
2 - Microtransmissions (engrenage)
3 - Micro-moteurs
4 - Micro-actionneurs intégrés innovants
5 - Conception et optimisation de structures actives multi-degrés de liberté à actionneurs et capteurs distribués
6 - Composants pour le micropositionnement, la micromanipulation et le microconvoyage
7 - Effets macros par multiplication de micro-actionneurs

1 - Composants MEMS RF, micro-ondes et millimétriques
2 - Microsystèmes optiques (OMEMS et MOEMS)
3 - Intégration multi-fonctionnelle (fonctions passives et actives : systèmes reconfigurables, autotestables)
4 - Réseaux de MEMS communicants
5 - Association optique – micro-ondes
6 - Filtres BAW (SMR, FBAR) et électro-mécaniques (résonateurs)
7 - Miniaturisation
8 - Nouvelles applications (antenne, communication intra-bâtiment, génération THz, cryptographie)

1 - Microsystèmes pour les sciences du vivant
2 - Microsystèmes fluidiques (micro-canaux, vannes, pompes)
3 - Générateur de gouttelettes (electrospray, spotting)
4 - Micro-réacteur
5 - Lab on Chip

1 - Micro-drones
2 - Structures auto-réparantes
3 - Contrôle et atténuation actifs de vibration
4 - Microsystèmes pour l'aérodynamique (micro-volets, micro-jets)
5 - Microsystèmes et domotique
6 - Microsystèmes pour le spatial

1 - Capteurs inertiels (accéléromètre, gyroscope, gyromètre, inclinomètre, boussole)
2 - Capteurs de pression
3 - Capteurs de température
4 - Capteurs implantables (mesure de pression intra-corporelle)
5 - Capteurs communicants (réseau de…)
6 - Microréférences de temps (micro-horloge atomique)
7 - Capteurs sismiques
8 - Capteurs abandonnés

1 - Organisation de la matière (nanomatériaux, nanoparticules, nanofils, nanotube de carbone)
2 - Instrumentation pour la physique (interface macro – nano)
3 - Exploitation de nouvelles propriétés (nanomagnétisme, électronique de spin, électronique moléculaire, transport quantique)
4 - Nanorésonateurs