| Mercredi 21 Novembre
2007 |
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| 09:00 - 09:30 |
Accueil des participants |
| 09:30 - 10:00 |
Présentation des journées |
| 10:00 - 12:30 |
GT Conception, Tests et Caractérisations
- Micro-essais de traction sur films minces autoportants

- Caractérisations ex-situ et in situ pour l’encapsulation sur tranche de micro/nano systèmes

- Méthodes de test alternatives pour les MEMS

- Les Micro-Nano Systèmes doivent-ils suivre le Design Flow de la micro-électronique?

- Dielectric-Charging Effects in RF MEMS and electrostatic actuators

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| 12:30 - 14:00 |
Pause déjeuner |
| 14:00 - 15:00 |
GT Micro Nano Fabrication
- Inkjet Printing of Functional Materials

- Vers des microsystèmes à base de couches épaisses libérées

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| 15:00 - 16:30 |
Pause-café et Posters GT I et GT
II |
| 16:30 - 18:00 |
GT Micro Nano Fabrication
- Augmentation de la robustesse du procédé de cryogravure profonde du silicium

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